Vakuumski vhodni ventil je poseben vhodni ventil, ki se uporablja posebej v vakuumskih ali negativnih tlačnih sistemih. Njegova jedrna zasnova se vrti okoli ultra visokega tesnjenja in nizke hitrosti preseganja. Delovno načelo in značilnosti so naslednje:
1. Opredelitev jedra
Funkcionalno pozicioniranje
Uporablja se v ultra visokem čistem okolju z vakuumsko stopnjo manj kot 1 × 10⁻⁶ Pa, da prepreči, da bi zunanji plin prodor ali notranjega materiala presegal in onesnažil vakuumsko votlino.
Sevedanje standarda
Hitrost puščanja je strogo nadzorovana pri manj kot ali enaki 1 × 10⁻⁻¹⁰ PA · m³/s (standard zaznavanja puščanja helija), kar je veliko višji od običajnih industrijskih zaklopk.
2. Ključne strukturne značilnosti
SISTEM RAZPRAVLJENJA
Sprejemajte dinamično tesnilo z metalnimi metami (zamenjajte tradicionalno škatlo za polnjenje), da odpravite mikro zatiranje, ki ga povzroča gibanje stebel ventilov.
Kontaktna površina med vrati in sedežem ventila je zrcalna polirana (RA manj kot ali enaka 0,2 μm), za dosego vezanja na molekulski nivo pa se uporablja tesnilni obroč z zlatimi zlitinami.
Material Selection
Telo ventila je izdelan iz 316-ultra nizkega ogljikovega nerjavečega jekla, površina pa se zmanjša z elektrolitičnim poliranjem (zmanjšanje adsorpcije plina).
Meh je izdelan iz Hastelloy C-276 in lahko zdrži večje ali enake 100.000 vakuum-atmosferski tlak, ki izmenično obremenitve.
Special Design
Vklopna votlina je opremljena s pomožnim izpušnim pristaniščem (vmesnik prirobnice KF16), da pred odpiranjem in zapiranjem uravnoteži razlike v tlaku.
Nizkotemperaturni tip je opremljen s tekočim dušikovnim hladilnim jaknom, da prepreči, da bi visoka temperatura povzročila, da se tesnilni material odpravi.
3. Delovni način
Preniranje procesa
Najprej začnite pomožno vakuumsko črpalko, da evakuirate ventilsko votlino na enako raven vakuuma kot sistem (za preprečevanje motenj pretoka zraka).
Mede poganjajo vrata, da se dvignejo navpično, koeficient pretočne prevodnosti pa je večji ali enak 0,95, ko je pretočni kanal popolnoma odprt.
Closing Process
Ko vrata padejo, se mejno stikalo samodejno sproži, sekundarni izpuh pa se začne zagotoviti, da se preostali plin v ventilski votlini izčrpa.
Kontaktna tesnilna površina povzroči samopredmetni učinek pod negativnim pritiskom sistema. Večja je razlika v tlaku, tesnejši tesnilo.
4. Tipični scenariji aplikacije
Scientific Research Oprema
Segmentirana izolacija cevovodov za vakuumske snope za pospeševanje delcev (na primer Evropska organizacija za jedrske raziskave LHC). Vakuumski ventil za vakuumsko vakuumsko vakuum za sinhrotronski vir sevanja.
Industrijska oprema
Nadzor reakcijske komore za polprevodniški stroj ALD prevleka.
Nujni izolacijski ventil za preskusno komoro za toplotno vakuumsko komoro vesoljskih plovil.
Specialno polje
Vakuumska izolacija prvega sistema hlajenja stenske naprave jedrske fuzije (na primer ITER).
Vzorčna prenosna tesnjenje kanala lunarne simulacijske komore prahu.
5. Kazalniki uspešnosti
Temperaturni razpon: -196 stopinj (hlajenje tekočega dušika) do 450 stopinj (vrsta pečenja visoke temperature).
Dameter Range: mikro ventil DN10 do DN800 Velika vakuumska zaklepna komora.
Način operacije: ročni pogon z zobnikom, pnevmatsko hitro odpiranje (odzivni čas<1s), electric stepping control (positioning accuracy 0.01mm).
6. vzdrževalne točke
Po vsakih 1000 operacijah je potrebno zaznavanje puščanja masne spektrometrije helija, sklop meh pa je treba zamenjati, če hitrost puščanja presega standard.
Kontaktno tesnilno površino je treba ponovno napolniti vsakih 5 let, da se obnovi površinska obdelava.
Za čiščenje je prepovedano uporabljati aceton in druge organske snovi. Priporočljivo je plazemsko suho čiščenje.